在清洁度分析领域,光学显微镜的检测方法存在哪些问题?

发布者:飞纳电镜 - 阅读量:1343 - 2020-04-20

金属颗粒的识别是清洁度分析的重要要求。近年来,金属颗粒的光学检测通常是通过光泽度进行的。根据实验室经验,我们发现光学显微镜分析通常会导致错误的分类,这可以通过使用扫描电镜和能谱(SEM+EDX)的检测方法进行材料分析,轻松避免金属颗粒的误识别。

 

光学显微镜与扫描电镜检测的原理是什么?

 

金属颗粒的光学显微镜检测是基于光反射进行的,包含亮点的颗粒被分类为金属杂质。在所有其他情况下,该颗粒被视为非金属杂质。在扫描电镜和能谱(SEM+EDX)的分析中,会测量颗粒的 X 射线光谱,从而识别其元素成分,实现精确的材料分类。

 

 

所有金属颗粒都会发光吗?

 

根据光反射原理的分析,要求滤膜上的金属颗粒要反光发亮。由于污染物颗粒在零件加工过程中暴露于液体、高温和摩擦环境中,因此它们的表面会因为腐蚀等原因而不反光,呈现暗色。这些金属颗粒在光学显微镜下,会被错误地分类为非金属颗粒。

 

在如下示例中,显示了三种颗粒(锌,钢和铝),这些颗粒通过光学显微镜确认为非金属。然而,通过扫描电镜和能谱(SEM+EDX)分析显示了这些颗粒的金属性质。

 

 

光学显微镜严重低估了金属颗粒的数量

 

下方案例显示了与 SEM+EDX 相比,光学显微镜分析存在重大误差。

 

由汽车供应商提供的同一片滤膜,分别进行了光学显微镜的颗粒分析以及 SEM+EDX 的测试分析。通过比较结果显示,光学显微镜检测的金属颗粒数,不到实际金属颗粒的 1/60。

 

 

Phenom ParticleX 全自动分析系统

 

金属颗粒可靠性检测,对于组件功能(例如电子零件)有至关重要的作用,因此,小编建议通过扫描电镜和能谱(SEM+EDX)的方法进行颗粒分析,ParticleX 全自动清洁度分析系统是一个理想的选择。而对于组件清洁的常规分析,通过光学显微镜检测的金属颗粒数仅供参考,颗粒总数是一个更值得信赖的参数。

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