为什么扫描电镜是评估微纳加工的重要技术

发布者：飞纳电镜 - 阅读量：3175 - 2017-05-19

微纳加工的世界处于不断变化的状态。随着新技术，新的应用和更难的问题有待解决，微纳加工的发展速度飞快，很快就会触及我们生活的方方面面。过去，微纳加工一直限于使用碳材料和半导体材料。但现在，新型商业激光技术正在扩大微纳加工的范围，如纽波特公司技术与应用中心（TAC）所使用的技术。可以加工的材料范围已经扩展到聚合物，复合材料，电介质甚至陶瓷。

新型材料的微加工

使用新型激光技术 - 如TAC中的μFAB™激光器，现在可以将均匀的脆性陶瓷成形为更高级的3D结构。这种发展预计将对紧凑型传感器的设计，可调声阵，能量收集装置和诊断纳米传感器等产生巨大的影响。加州圣地亚哥的纳米工程系（NE）已经展示了一种用于制造3D压电材料的新型工具，该压电材料依赖于嵌入光不稳定聚合物溶液中的压电纳米颗粒（ACS Nano，2014,8（10），pp9799-9806）。这在纳米级能量收集，医疗传感器和生物工程方面具有巨大的潜力。

微纳秒激光技术使得纳米制造技术能够进行创新和前进。然而，它确实需要优秀成像技术的支持来开发新产品。在整合新材料时，可以评估微观结构的实时原位成像技术至关重要。因此，为了有效地评估微观结构，可以提供高分辨率和大的景深的扫描电子显微镜（SEM）是至关重要的。

μFAB™微加工激光器和SEM的微加工评估

在TAC处的应用中示出了使得微结构的现场成像的SEM的一个示例，其与LaserμFABTM微加工工作站配对。激光μFAB™微加工工作站是适用于多种材料的桌面微加工工具，包括可以生产2D和3D结构的聚合物和陶瓷。当用SEM作为补充系统观察微观结构时，可以实现可视化并有效地进行质量控制。 TAC研究员Tommaso Baldacchini博士一直密切参与μFAB™激光应用的开发，并每天使用飞纳台式扫描电镜Phenom Pro完成其工作。