简介

飞纳 Phenom ParticleX 全自动清洁度分析系统 以台式扫描电镜和能谱仪为硬件基础,可以全自动对颗粒或杂质进行快速识别、分析和分类统计,为客户的研发以及生产提供快速、准确和可靠的定量数据支持。该过程完全符合 ISO 16232 和 VDA 19 要求。

传统的清洁度分析方法(重量法和光镜法)只能提供清洁部件上大颗粒灰尘和碎片的总体重量或形状信息,而不能全面分辨颗粒的污染源。Phenom ParticleX 取代传统颗粒物清洁度检测方法,允许工程师看见微米尺寸的颗粒并确定其化学成分,从而判断出污染源。

借助 Phenom ParticleX 全自动清洁度分析系统,只需一键,即可自动分析 4 片直径 47mm 的滤膜,并且自动生成报告,更有效率地监控过程清洁度。

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规格参数

 

Phenom ParticleX TC

光学放大

3 - 16 X

电子光学放大

160 - 200,000 X

分辨率

优于 10 nm

数字放大

Max. 12 X

光学导航相机

彩色

加速电压

5 kV - 20 kV 连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低核电效应模式

高真空模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

能谱探测器

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展示

案例分析

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