简介
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飞纳 Phenom ParticleX 全自动清洁度分析系统 以台式扫描电镜和能谱仪为硬件基础,可以全自动对颗粒或杂质进行快速识别、分析和分类统计,为客户的研发以及生产提供快速、准确和可靠的定量数据支持。该过程完全符合 ISO 16232 和 VDA 19 要求。 传统的清洁度分析方法(重量法和光镜法)只能提供清洁部件上大颗粒灰尘和碎片的总体重量或形状信息,而不能全面分辨颗粒的污染源。Phenom ParticleX 取代传统颗粒物清洁度检测方法,允许工程师看见微米尺寸的颗粒并确定其化学成分,从而判断出污染源。 借助 Phenom ParticleX 全自动清洁度分析系统,只需一键,即可自动分析 4 片直径 47mm 的滤膜,并且自动生成报告,更有效率地监控过程清洁度。 |
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规格参数
Phenom ParticleX TC |
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光学放大 |
3 - 19 X |
电子光学放大 |
200,000 X |
分辨率 |
优于 8 nm |
光学导航相机 |
彩色 |
加速电压 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
真空模式 |
高分辨率模式 降低核电效应模式 高真空模式 |
探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 |
下载 Particle X TC 手册 |