简介
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荷兰飞纳推出第二代肖特基场发射电子源台式扫描电镜 Phenom Pharos G2, 集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析功能于一体。高亮度肖特基场发射电子源，使用户可以轻松获得高分辨率图像，且低电压性能优异。Phenom Pharos G2 低电压成像优势明显，可减轻电子束对样品的损伤和穿透，更好地观测绝缘和电子束敏感的样品，可以最大程度还原样品真实形貌。 第二代台式场发射电镜的分辨率提升至优于 1.5nm，广泛用于半导体、生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。
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规格参数
Phenom ProX |
Phenom Pharos G1 |
Phenom Pharos G2 |
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| 光学放大 |
27 - 160 X |
20 - 135 X |
27 - 160 X |
| 电子光学放大 |
350,000 X |
1,000,000 X |
2,000,000 X |
| 分辨率 |
优于 6 nm |
优于 2.2 nm |
优于 1.5 nm |
| 电子枪 |
CeB6 |
肖特基场发射电子枪 |
肖特基场发射电子枪 |
| 光学导航相机 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
| 加速电压 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
2 kV - 15 kV 连续可调 |
1 kV - 20 kV 连续可调 |
| 真空模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 |
| 探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 能谱探测器 (选配) |
背散射电子探测器 二次电子探测器 能谱探测器 (选配) |
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