简介
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荷兰飞纳公司推出采用肖特 基场发射电子源，集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析功能于一体的台式场发射扫描电镜能谱一体机 Phenom Nano。高亮 度肖特基场发射电子源，使用户可以轻松获得高分辨率图像。 台式场发射扫描电子显微镜，广泛用于半导体、生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。
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规格参数
Phenom Pro |
Phenom ProX |
Phenom Nano G2 |
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| 光学放大 |
27 - 160 X |
27 - 160 X |
27 - 160 X |
| 电子光学放大 |
350,000 X |
350,000 X |
1,000,000 X |
| 分辨率 |
优于 6 nm |
优于 6 nm |
优于 2.5 nm |
| 电子枪 |
CeB6 |
CeB6 |
肖特基场发射电子枪 |
| 光学导航相机 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
| 加速电压 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
2 kV - 15 kV 连续可调 |
| 真空模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） |
高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 |
| 探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 能谱探测器 |
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