简介
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第六代 Phenom Pro 台式扫描电镜填补了光学显微镜和落地式电镜分析之间的空白，从而扩展了研究设施的能力。 第六代 Phenom Pro 台式扫描电镜简单易用，可减轻落地式电镜对样品进行常规分析的负担。仪器配置和样品装载系统确保扫描电镜快速成像，大大简化了电镜操作步骤。 无论是操作过电镜的人员还是未操作过电镜的人员，无需过多培训即可快速上手。长寿命 CeB6 电子源维护方便，并且只需一张承重 110kg 以上的桌子就可以安装使用。 |
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规格参数
Phenom Pro |
Phenom ProX |
Phenom XL |
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| 光学放大 |
27 - 160 X |
27 - 160 X |
3 - 19 X |
| 电子光学放大 |
350,000 X |
350,000 X |
200,000 X |
| 分辨率 |
优于 6 nm |
优于 6 nm |
优于 8 nm |
| 光学导航相机 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
| 加速电压 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
| 真空模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） |
高分辨率模式 降低荷电效应模式（可选） |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 低真空模式 |
| 探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
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