简介
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第六代 Phenom ProX 台式扫描电镜填补了光学显微镜和落地式扫描电镜分析之间的空白,从而扩展了研究设施的能力。除了集成的能谱仪(EDS)外,它还提供快速、高分辨率的成像功能,以实现稳定、易于操作的元素分析。 |
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规格参数
Phenom Pro |
Phenom ProX |
Phenom XL |
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光学放大 |
27 - 160 X |
27 - 160 X |
3 - 19 X |
电子光学放大 |
350,000 X |
350,000 X |
200,000 X |
分辨率 |
优于 6 nm |
优于 6 nm |
优于 8 nm |
光学导航相机 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
加速电压 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
真空模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式(可选) |
高分辨率模式 降低荷电效应模式(可选) |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 低真空模式 |
探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
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