简介

新一代 Phenom XL G2 台式扫描电镜(SEM)可自动进行质量控制,并提供准确、可重复的检测结果,让你腾出时间进行其他更有价值的工作。

通过直观、自动化的解决方案满足质量标准,消除了手动、重复性工作:

•  获得所需的质量信息,提早发现故障,迅速调整生产过程。
•  通过全自动台式扫描电镜(SEM),使质量控制自动化,提高生产效率,减少人为失误。
•  全新的易于学习的界面可以帮助您快速掌握最新信息,是各种应用的理想选择

Phenom XL G2 升级为全屏成像,平均成像时间为 60 秒。长寿命 CeB6 电子源维护方便,并且只需一张承重 110kg 以上的桌子就可以安装使用。

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规格参数

 

Phenom Pro

Phenom ProX

Phenom XL

光学放大

20 - 135 X

20 - 135 X

3 - 16 X

电子光学放大

160 - 350,000 X

160 - 350,000 X

160 - 200,000 X

分辨率

优于 6 nm

优于 6 nm

优于 10 nm

数字放大

Max. 12 X

Max. 12 X

Max. 12 X

光学导航相机

彩色

彩色

彩色

加速电压

5 kV - 20 kV  连续可调

5 kV - 20 kV  连续可调

5 kV - 20 kV  连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高真空模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

能谱探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

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展示

案例分析

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