简介
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新一代 Phenom XL G2 台式扫描电镜(SEM)可自动进行质量控制,并提供准确、可重复的检测结果,让你腾出时间进行其他更有价值的工作。 通过直观、自动化的解决方案满足质量标准,消除了手动、重复性工作:
• 获得所需的质量信息,提早发现故障,迅速调整生产过程。 Phenom XL G2 升级为全屏成像,平均成像时间为 40 秒。长寿命 CeB6 电子源维护方便,并且只需一张承重 110kg 以上的桌子就可以安装使用。 |
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规格参数
Phenom Pro |
Phenom ProX |
Phenom XL |
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光学放大 |
27 - 160 X |
27 - 160 X |
3 - 19 X |
电子光学放大 |
350,000 X |
350,000 X |
200,000 X |
分辨率 |
优于 6 nm |
优于 6 nm |
优于 8 nm |
光学导航相机 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
加速电压 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
真空模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式(可选) |
高分辨率模式 降低荷电效应模式(可选) |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 低真空模式 |
探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
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