简介
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Axia ChemiSEM 传承于前 FEI 出品的 Quanta SEM 系列，其易用性、性能和灵活性更上一层楼。 Axia ChemiSEM 配备了一个全新的腔室，可容纳大量样品，且承重量升级到全新高度，并为多探测器预留充足的接口。全新设计的样品台最多可承重 10kg，最大程度上避免了样品切割等制样过程，通过光学导航可直接定位到观察区域，或为自动化拍照提供选区支持。 搭配实 Color SEM 2 技术的 ChemiSEM 可以以 2 倍的效率， 提供实时化学定量级的元素分布成像。全新的操作界面提供多种创新性的功能，全面提升了易用性，如全自动参数校正，操作导引，参数撤销/重做等功能。低真空技术可以为各类不导电样品提 供出色的成像。
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规格参数
Axia ChemiSEM |
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| 高真空模式 |
3.0 nm @ 30kV (SE) 4.0 nm @ 30 kV (BSE)* 8.0nm @ 3kV (SE) |
| 低真空模式 |
3.0nm @ 30kV (SE) |
| 电子光学 |
高性能热发射 SEM 光路系统 |
| 探针束流范围 |
最高 2 μA，连续可调 |
| 放大倍数 |
5 到 1,000,000× (Polaroid) |
| 加速电压 |
200 V – 30 kV |
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抽真空速度 |
< 2 分钟 |
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最大样品尺寸 |
20 x 165 x 137 |
| 下载 Axia ChemiSEM 手册 |