P 系列粉末原子层沉积系统

P 系列粉末原子层沉积系统

粉末包覆可有效提升材料性能与使用寿命,如锂电正极或负极材料,经过表面包覆处理后在放电性能及循环使用寿命方面都有明显提升,但目前工业的包覆手段以机械混合的干法为主,该方法包覆均匀性较差,性能提升有限。ALD 技术可实现高精度及均匀包覆,是理想的包覆手段。Forge Nano 针对粉末类材料比表面积大的特点,采用流化床技术实现粉末材料的流化,从而保证前驱体与粉末实现充分的接触。P系列是Forge Nano针对工业包覆研发的粉末 ALD 负载系统,可实现 kg 级粉末批量包覆,是工业生产前最理想的研发工具。

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特点规格应用图库
  

流化辅助

粉末在长时间存放或流化不充分时容易出现团聚,导致无法形成理想的流化态。因此利用流化辅助模块,高剪切气流以及振动反应器的设计可冲散团聚颗粒,确保分散效果。

 

分区加热

所有前驱体源均可独立加热,保证最佳运输条件,这对于部分低蒸汽压的前驱体以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也拥有独特的阀门控制系统,可以实现多通道前驱体输运。
 

 

在线监测

P 系列配置了气体在线分析系统,对 ALD 工艺的改善有较大帮助,使用者可通过气体成分判断反应的完成度。

 

前驱体通道 2-8
腔室容量 0-600ml
反应器温度 450℃
最高工艺温度 200℃
振动流化床反应器
模块 流化辅助,质谱,臭氧发生器,等离子体发生器

 

  

锂电池

锂电正极或负极材料的包覆可有效提升其放电性能及使用寿命。常见的 NCM 与磷酸铁锂,在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后,在经过多次放电后,仍可保持较高的能量密度。

 

3D 打印

3D 打印粉末存在腐蚀及表面氧化的问题,会影响最终器件的性能。通过表面涂层改性,可有效延缓氧化及腐蚀。传统的包覆方式是在器件表面进行 ALD 沉积,但对于 3D 打印粉末,直接对原材料粉末改性无疑是更有效的手段。

催化

催化反应大多数是发生在材料表面的界面反应,因此对于催化剂材料进行表面构筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末,纤维材料表面生长高活性纳米涂层,另一种方法是利用模板法结合 AL D在表面构筑特定结构,暴露活性位点。此外,也可以在特定的颗粒表面进行表面包覆,防止催化剂烧结团聚。

 

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