产品详情
特点规格应用图库
实时监测
PANDORA 也配备了在线分析系统,可以对前驱体与副产物进行实时监测,从而进行沉积工艺改良。
In-situ QCM
ALD 是微量的沉积方式,故常规手段无法测量薄膜的质量,因此 PANDORA 采用石英微天平可以实时监测材料的质量变化,帮助研究者获得更高质量的薄膜。
反应观察窗
研究者可通过窗口实时观察粉末在腔室中的运转情况
符合 cGMP 要求
PANDORA 可以应用于药物的表面改性及包覆,从而提升药物的物理及化学性能。
前驱体通道 | 2-6 |
连续流 / 静态流兼容 | |
反应腔 | 100ml 粉末腔 / 10×10cm 平面 |
反应腔结构 | 旋转式 |
反应腔温度 | 最高 200℃ |
配件 | In-situ QCM,等离子发生器,臭氧发生器,在线式气体分析系统,冲压辅助装置 |
支持样品 | 粉末,纤维,平面样,器件,药物 |
对于学术研究,液相法是进行粉末表面包覆改性的重要方法,但对于大多数研究者而言,寻找合适的工艺以及普适性较高的方案是费时耗力的工作,且液相法会造成大量的原料浪费,同时并不能实现完全均匀的包覆。包覆层会出现较多的缺陷或颗粒团聚,影响材料最终的性能。而对于敏感性较高的材料,如锂电电极粉末,液相法可能对材料性能产生不可逆的影响。
ALD 是自限制性的薄膜沉积技术,可以在粉末材料表面形成均匀的包覆,即便是孔隙率高的多孔结构,ALD 也有较好的均一性。