PANDORA 多功能台式原子层沉积系统

PANDORA 多功能台式原子层沉积系统

PANDORA 是高度集成的台式原子层沉积系统,可摆放在实验室的任意角落,采用旋转式反应腔实现对粉末材料的分散,有更高的兼容性。对于平面样品,则可快速插入平面反应台,实现样品的切换。PANDORA 高度集成的特点提高了使用效率,使用者甚至在安装的第一天便可以开始 ALD 实验。

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实时监测

PANDORA 也配备了在线分析系统,可以对前驱体与副产物进行实时监测,从而进行沉积工艺改良。

 

In-situ QCM

ALD 是微量的沉积方式,故常规手段无法测量薄膜的质量,因此 PANDORA 采用石英微天平可以实时监测材料的质量变化,帮助研究者获得更高质量的薄膜。
 

 
 

反应观察窗

研究者可通过窗口实时观察粉末在腔室中的运转情况

 

符合 cGMP 要求

PANDORA 可以应用于药物的表面改性及包覆,从而提升药物的物理及化学性能。

 

 

前驱体通道 2-6 
连续流 / 静态流兼容
反应腔 100ml 粉末腔 / 10×10cm 平面
反应腔结构 旋转式
反应腔温度 最高 200℃
配件 In-situ QCM,等离子发生器,臭氧发生器,在线式气体分析系统,冲压辅助装置
支持样品 粉末,纤维,平面样,器件,药物

 

  

 

对于学术研究,液相法是进行粉末表面包覆改性的重要方法,但对于大多数研究者而言,寻找合适的工艺以及普适性较高的方案是费时耗力的工作,且液相法会造成大量的原料浪费,同时并不能实现完全均匀的包覆。包覆层会出现较多的缺陷或颗粒团聚,影响材料最终的性能。而对于敏感性较高的材料,如锂电电极粉末,液相法可能对材料性能产生不可逆的影响。

 

 

ALD 是自限制性的薄膜沉积技术,可以在粉末材料表面形成均匀的包覆,即便是孔隙率高的多孔结构,ALD 也有较好的均一性。
 

 

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