Q1：PE 的全称是什么？

Primary Electron，中文直接叫“入射电子”就好了。直译为初级电子，也就是一次电子，指的是灯丝发射的电子。背散射电子的本质是“一次电子”，是灯丝发射出来的电子与样品相互后向后“反射”的电子。而“二次电子”之所以称为“二次”，是因为它本质上是属于样品的，是样品原子的核外电子被激发而产生的。

Q2：能否解释一下放大倍数

放大倍数的定义是指一个物体，显示到显示器（或宝丽来底片）上的尺寸和物体实际大小的比例。分别对应我们看到的两个放大倍数：屏幕放大倍数与底片（宝丽来）放大倍数。

Q3：不同的扫描电镜，哪怕是相同的放大倍数，但得出的图像中标的尺寸并不一致，什么原因呢？

参考上一条，如果采取的不同的放大倍数定义，那么图像中的标尺显然是不同的。但是，无论是屏幕放大还是底片放大，同样的物体，测量出来的尺寸是一致的。

Q4：可以在 SE 下调焦，在 BSD 拍照吗？

可以，切换探头模式不会改变焦距。但是要注意，SE 模式更容易出现积碳现象（暗黑色方块），所以调焦时不要在 SE 高倍下停留过长时间。

Q5：BSD 有几个分片，怎么用？我的有 5 个分片

BSED 有好几种设计，有不分割，二分割，4 分割，4+1(5) 分割，环分割…等，各有各的用法。

最常见的用法是所有分片同时全开，BSD模式，所有分片进行信号叠加，这样收集的图像是最能反映原子序数信息的图像。实际用的时候，可以切换到 BSD Topo 模式，它是利用背散射不同分片的信号减法运算得到的。

Q1：块状无导电性样品做背散射的话怎样制样吗？

Q1：能谱仪和波谱仪有什么区别？

实际上，不只是在扫描电镜里，在 XRF 荧光分析时也会碰到这个问题。能谱仪是 EDS，这里的 E 是 Energy（能量）。波谱仪是 WDS，这里的 W 是 Wavelength（波长）。

能谱仪直接对 X 射线的能量进行测量，波谱仪通过分光晶体，将不同波长的 X 射线在空间分散开，获得高分辨率的波长光谱（就像光谱仪，不过光栅换成了晶体，利用晶格间距充当光栅，材料人必背的公式 nλ = 2dsinθ，说来话长，到此为止）。

简单来说，能谱仪价格便宜，速度快，可靠性高，扫描电镜的常见配置。波谱仪价格贵，结构复杂，但光谱分辨率极高，因此定性定量精准度都远高于能谱仪，往往 EPMA 上会见到。

Q2：能谱看氧之前的元素不太准吗？原因是什么？

能量太弱，不容易穿透能谱的窗口，尤其是 B。碳污染的问题使得碳的结果可靠性特别低。

Q3：喷金以后还能测元素么？不会影响元素的成分分布吗？不会影响准确性吗？

喷金以后做能谱分析，入射电子的能量会受到金的影响，出射的 X 射线的能量也会受到金的影响。因此喷金之后做能谱分析，数据就不那么可靠了。

Q4：能谱元素的比例，有多大参见价值？

国标里对能谱的定量准确性是有参考的。关键是你的样品可否满足一下要求：试样平坦、无水、致密、稳定和导电良好的试样。

《电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则》对 Z﹥11，试样平坦、无水、致密、稳定和导电良好的试样，允许的相对误差：

• 主元素 (>20%wt) 允许的相对误差 <5％

• 3%wt ~ 20%wt 的元素，允许的相对误差 <10％

• 1%wt  ~ 3%wt 的元素，允许的相对误差 <30％

• 0.5%wt  ~ 1%wt 的元素，允许的相对误差 <50％

Q1：为什么场发射扫描电镜比钨灯丝扫描电镜清晰很多？

原因有以下两点：

1. 场发射扫描电镜的电子枪发射亮度比钨灯丝扫描电镜要高的多，这意味着同样扫描一个样品时场发射扫描电镜可以获得更多的信号；

2. 场发射扫描电镜的束斑比钨灯丝扫描电镜的束斑要小，束斑可以通俗的理解为像素点，对同一个区域进行扫描时，场发射扫描电镜可以获得更高的像素。

Q2：场发射灯丝是什么材质

• 尖端是钨单晶

• 冷场是 310 晶面

• 热场是 100 晶面

伦敦帝国理工学院（英国）微观结构机理研究实验室

培训视频：

https://www.youtube.com/watch?v=h3Z2RTAIZSU

Microscopy Australia

虚拟扫描电镜

https://myscope.training/SEM_simulator.html

培训视频

https://www.youtube.com/watch?V=HLC110i3WIA

Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis (4thEdition), Goldstein

https://www.springer.com/qb/book/9781493966745