原子层沉积(ALD)作为一种面向纳米和亚纳米薄膜以及纳米颗粒的制备技术,已被广泛应用于微电子、光电子、催化、能源、光学涂层、抗腐蚀层、生物医用材料等多个领域。第十届中国原子层沉积会议将于 10 月 19 - 21 日于中国嘉善召开
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