能谱仪(Energy Dispersive Spectroscopy)简称能谱,用于样品微区元素的成分和含量分析,常与扫描电镜(SEM)或者透射电镜(TEM)搭配使用。
在使用扫描电镜进行样品观察时,尤其是采用二次电子模式,随着观察时间的延长,在观察的区域会出现一块黑的矩形的区域。
扫描电镜作为一种基础显微成像工具,因具有超高的放大能力,从而被高校、科研院所、材料研发和质量分析部门广泛用于研发、生产过程。
能谱(EDS)结合扫描电镜使用,能进行材料微区元素种类与含量的分析。
@ 2022 复纳科学仪器(上海) 有限公司 飞纳电镜 版权所有 沪ICP备12015467号-1