能量色散 X 射线谱 (能谱) 是一种检测手段,它分析的是由入射电子束激发样品原子所产生的 X 射线。
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能谱仪(Energy Dispersive Spectroscopy)简称能谱,用于样品微区元素的成分和含量分析,常与扫描电镜(SEM)或者透射电镜(TEM)搭配使用。
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