全新发布的 AFM-in-Phenom XL 结合了扫描电子显微镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 的优势,实现了在同一系统中对样品进行多模态(SEM 及 AFM 形貌、元素、机械、电学、磁学)关联分析。
· 设备扫描范围(开环):100μm×100μm×20μm
· 设备扫描范围(闭环):80μm×80μm×16μm
· 分辨率:0.2nm×0.2nm×0.04nm
· 最大样品尺寸:21mm×11mm×8mm
· 最大样品重量:100g
· 成像模式:表面形貌和粗糙度、CAFM、KPFM、FMM、PFM、EFM、F-z curves、I-V curves等
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