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Pandora 多功能原子层沉积
PALD 粉末原子层沉积包覆
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Pandora 多功能原子层沉积
Prometheus 流化床原子层沉积
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Product Introduction
Pandora 多功能原子层沉积系统
产品概况
产品概况

Pandora 拥有一个最大可容纳 200ml 样品的粉末腔室，并可通过加入平面样品台实现平面样品沉积。这一设计很好的改善了传统原子层沉积 ALD 系统只能实现平面样品沉积的尴尬局面。由于粉末样品的高比表面积，传统的平面 ALD 沉积扩散效率太低，而 Pandora 采用旋转式反应腔 + 精确前驱体注入系统可实现最大效率的前驱体利用率及粉末分散效果。粉末在腔室中做滚动旋转，同时利用反冲装置可防止粉末的团聚。旋转床粉末包覆可最大限度提升粉末的兼容性，实现更多类型的粉末包覆。

基本参数
  • 工艺温度：50 – 200 °C
  • 液体前驱体通道：最多 6 个
  • 气体通道：可应要求提供
  • 容量：最多 200 mL 粉末状底物
  • 选件：在线质谱，臭氧发生器，QCM，cGMP 规范设计
Product Function
Pandora 产品功能
紧凑设计
紧凑设计

Pandora 多功能原子层沉积系统可以实现最高 6 套独立前驱体通道,可配备 3 路低蒸汽压前驱体通道，同时为实现稳定的工艺，系统可配置石英晶体天平以及质谱仪。

多领域应用
多领域应用

Pandora 系统满足 cGMP 规范，可用于制药，能源，催化，3D 打印等多个领域。

可支持的涂层
可支持的涂层

可支持氧化物、金属、氮化物等化学涂层包覆，应用于蓬松或难以流化的粉末、丸剂 / 胶囊 / 小物体、制药原料药

  • 紧凑设计
  • 多领域应用
  • 可支持的涂层
粉末原子层沉积在催化中的应用
Application Cases
应用案例
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Pandora 多功能原子层沉积
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