Pandora 拥有一个最大可容纳 200ml 样品的粉末腔室,并可通过加入平面样品台实现平面样品沉积。这一设计很好的改善了传统原子层沉积 ALD 系统只能实现平面样品沉积的尴尬局面。由于粉末样品的高比表面积,传统的平面 ALD 沉积扩散效率太低,而 Pandora 采用旋转式反应腔 + 精确前驱体注入系统可实现最大效率的前驱体利用率及粉末分散效果。粉末在腔室中做滚动旋转,同时利用反冲装置可防止粉末的团聚。旋转床粉末包覆可最大限度提升粉末的兼容性,实现更多类型的粉末包覆。
Pandora 多功能原子层沉积系统可以实现最高 6 套独立前驱体通道,可配备 3 路低蒸汽压前驱体通道,同时为实现稳定的工艺,系统可配置石英晶体天平以及质谱仪。
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