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SEMPREP SMART 离子研磨仪
Product Introduction
SEMPREP SMART 离子研磨仪
产品概况
产品概况

SEMPREP SMART 配备了高能量和可选的低能量氩离子枪。这款设备是用于扫描电子显微镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)样品的最终加工和清洁的理想选择。离子加工可以改进和清洁机械抛光的 SEM 样品,并为 EBSD 分析制备无损表面。该设备还适用于快速截面加工。为您制备高精度和高质量的样品,例如在半导体测试或锂离子电池隔膜的截面检查中均能实现出色的效果。

基本参数
  • 定位精准:可实现 ±1 微米
  • 离子枪能量最高:0-16kV
  • 超大样品腔室:可容纳直径 50mm
  • 独家制冷设计:液氮 LN2 制冷
  • 可选特色功能:支持真空转移
Practical Features
SEMPREP SMART 实用特点
  • SEMPREP SMART 功能

    可选低能枪(LEG)

    可选的新型 LN2 冷却系统

    可选真空转移装置 (VTU),用于在真空条件下取出样品

    独立的对位样品台:在进行 90° 加工时用于精确样品定位

    01
  • 先进的技术

    先进的离子枪射击和自动化功能

    更精确的针阀:允许对气流进行精细调整

    更长寿命高真空传感器

    02
  • 解决方案

    新型用户友好操作软件:为用户提供智能辅助

    自动配方计算:以获得最佳结果

    通过互联网连接进行远程控制和监控

    03
  • 质量和高精度

    高精度可调性:用于精细调节操作

    高分辨率数字相机:在处理过程中用于样品观察

    04
SEMPREP SMART 功能
先进技术
解决方案
质量和高精度
网络研讨会|半导体封装检测及失效分析高效制样方法
Application Cases
应用案例
SEMPREP SMART 离子研磨仪
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