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仪器表面颗粒物分析仪 SAS
Product Introduction
仪器表面颗粒物分析仪(SAS)
产品概况
产品概况

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪,是一款基于“胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具,可通过间接测量方式识别小至 0.5um 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面(包括难以触及区域和高粗糙度表面)实现灵活采样,且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225 mm2 采样区域的分析,确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架,也可对沉降颗粒进行检测,满足跨行业复杂场景的检测需求。

产品特点
  • 符合 ISO 14644-9 标准:在用户界面生成具有认证的 PDF 报告
  • 检测范围:可检测低至 0.5 um 颗粒
  • 稳定:90% 采集效率 | >90% 重复性
  • 快速:10 秒完成检测
仪器表面颗粒物分析仪 SAS
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