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保护膜表面颗粒物快速检测系统 PDS
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保护膜表面颗粒物快速检测系统 PDS
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Product Introduction
掩膜版｜保护膜表面颗粒物快速检测系统（PDS）
产品概况
产品概况

为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板（衬底）制造工艺，提供高通量的表面颗粒污染检测服务。

该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度，是一种高效且提供全方位服务的选择。它能以手动或自动的操作方式，以及较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统。

产品特点
  • 高通量检测：每小时可检测 400 片晶圆（WPH）
  • 数据输出：根据 ISO 14644-9 标准，在用户界面和 PDF 报告输出 SCP 等级
  • 正反两面检测：单次测量中完成正反两面检测（无需翻转）
  • 检测范围：能够检测 ≥ 0.1µm 聚苯乙烯乳胶（PSL）等效颗粒（经 NIST 认证）
保护膜表面颗粒物快速检测系统 PDS
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