Phenom XL G3 大样品室版台式扫描电镜

HOT！XL 大仓室自动化电镜

CeB6 灯丝

3000h使用寿命
电子光学放大

20万倍
分辨率优于

8nm

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荷兰飞纳电镜

离子研磨抛光仪台式纳米CT 原位透射样品杆可视化颗粒检测 PALD粉末包覆纳米颗粒制备和沉积

CeB6 灯丝扫描电镜

ParticleX 全自动洁净度分析场发射扫描电镜电镜智能软件自动化专用扫描电镜

HOT！XL 大仓室自动化电镜

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简介
技术参数
特点
SEM图片
拓展硬件
用户案例
应用案例

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Product Introduction

产品简介

Phenom XL G3 平均成像时间仅为 40 秒，比市场上其他台式电镜的速度快 5 倍之多。系统可对最大 100 x 100mm 的样品进行分析，8nm 的分辨率为分析提供更多的细节。专利设计的放气 / 样品装载系统可以实现全世界相对较快的放气 / 装载速度，并获得非常少有的比较高的样品吞吐效率。

· 稳定可靠：80年顶尖技术传承。

· 独家采用 CeB6 晶体灯丝：3000h 超长使用寿命，平均 5 年换灯丝

· 面向工业 4.0 的自动化与 AI 智能扫描电镜：开放编程接口，打造定制化的“黑灯实验室”检测流程，支持 Maps 地图式多模态、多维度自动拼图及关联。

· 不挑安装环境：内置专利减震系统，可直接放置于生产车间、高楼层 QC 实验室等。

· 原厂集成能谱 EDS：从电子光学设置、图像采集到能谱分析和面分布，都在同一个统一、直观的界面中完成。

· 卓越的低电压成像功能：对于不导电、导电性差、以及电子束敏感样品，不喷金，仍具有卓越的成像能力。

Phenom XL G3

Specification

技术参数

产品型号	Phenom XL G3	Phenom ProX G6	Phenom Pro
产品图片
产品全称	HOT！XL 大仓室自动化电镜	HOT！ProX 电镜能谱一体机	Pro 高分辨率专业版
光学放大	3 - 16 X	27 - 160 X	27 - 160 X
电子光学放大	200,000 X	350,000 X	350,000 X
分辨率	优于 8 nm	优于 6 nm	优于 6 nm
电子枪	优于 3000 小时 CeB6	优于 1500 小时 CeB6 灯丝	优于 1500 小时 CeB6 灯丝
光学导航相机	彩色	彩色	彩色
加速电压	基本模式：2kV, 5kV, 10kV, 15kV, 20kV 高级模式：4.8 KV - 20.5 KV 连续可调	4.8 KV - 20.5 KV 连续可调	4.8 KV - 20.5 KV 连续可调
真空模式	低 - 中 - 高三种模式	高 - 低真空	高 - 低真空
探测器	背散射探测器二次电子探测器（选配）能谱探测器（选配）	背散射探测器二次电子探测器（选配）能谱探测器	背散射探测器二次电子探测器（选配）
手册下载	产品手册	产品手册	产品手册

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Practical features

实用特点

CeB₆ 灯丝

Phenom（飞纳）台式扫描电镜采用逸出功为 2.5 eV 的 CeB6 灯丝，出射电子色差小，为您提供更高质量的图像。其使用寿命长达 3000 小时，可正常使用 5 年无需更换灯丝，免去了您频繁更换灯丝的麻烦，保证工作进度。

大仓室样品台

Phenom XL G3 大仓室自动化电镜的标准样品杯设计紧凑，可对最大 100 x 100mm 的样品进行分析，也可以同时容纳 36 个样品。专利的样品加载技术可以使抽真空的时间降到最短，使得 Phenom XL G3 的吞吐量比同类型的台式扫描电镜高出几个级别。

完全防震

Phenom（飞纳）台式设计，对周围环境没有特殊要求，可放置在高层的办公室、厂房等地的普通办公桌上，无需采用防震设施，是全球少有的真正意义上的完全防震电镜。

装载样品

Phenom（飞纳）的样品装载方式源自咖啡机的设计理念，采用专利的样品杯装载样品，简单快捷，无须特殊的工具和调整，装入样品杯，关上舱门，很快即可看到光学全景图。

无需镀金

PhenomXL G3 配备了全新升级真空设计和背散射探测器 (BSD)，优化了低电压下的灵敏度，提升了总体的信噪比(S/N)，对于不导电、导电性差、以及电子束敏感样品，可以使用更低的束流进行拍摄，提升分辨率的同时，降低荷电效应带来的影响。

全自动马达

Phenom（飞纳）配备全自动计算机操控马达样品台。通过鼠标点击屏幕任何一点即可轻松切换，即时移动到选中的位置。

Video Introduction

视频解说

了解更多

Phenom XL G3 台式大仓室自动化扫描电镜
走近飞纳电镜之【专利防震篇】
走近飞纳电镜之【便捷的参数设置】
走近飞纳电镜之【操作简单、快速拍照】
走近飞纳飞纳电镜之【彩色光学导航】
走近飞纳电镜之【样品防碰撞装置】

SEM image

SEM图片

电子半导体-键合线

考古-古生物化石

太阳能电池-单晶硅绒面SiNX减反射膜（约100nm）

医疗器械-支架

种植牙（1000mm x 400mm）全景拼图

电子半导体-键合线

考古-古生物化石

太阳能电池-单晶硅绒面SiNX减反射膜（约100nm）

医疗器械-支架

种植牙（1000mm x 400mm）全景拼图

Accessoire

拓展硬件

原位拉伸台

Phenom XL 拉伸台可以对各种材料进行至多 100kg (1kN) 的拉伸测试。最大载荷取决于加载单元。加载单元分两种：150N 和 1000N；根据样品类型和测试需要，选择不同的模块。应用场景多种多样。150N 模块适用于观察纤维团簇，聚合物薄膜，金属薄膜，动植物样品。1000N 模块则适用于更强韧的材料。150N 版本受力范围为 1.5N 至 150N，1000N 的则是 10N 至 1000N。

优中心样品杯

飞纳电镜大样品室卓越版 Phenom XL 的优中心样品杯采用了独一无二的设计，它包含了一个可以实现优中心倾斜和优中心旋转的子样品台。因为该样品台可以完全整合到一个常规的飞纳电镜大样品室卓越版 Phenom XL 样品杯中，从而可以在 1 分钟内实现装卸样品。而且，它也不需要繁琐、昂贵的升级。样品台的性能同样十分优越：样品可以倾斜到 90° 角，之后仍然能够进行平移。优中心样品杯本身就具有 4 个马达轴，再结合主样品台的两个马达轴，用户可以轻松实现样品的升降，倾斜，旋转和平移。

真空转移多功能样品杯

可以有效解决敏感样品的转移问题，实现密封运输样品，直接从手套箱气氛下转移至扫描电镜腔室中，避免因氧气或水分的氧化而导致样品被氧化，确保分析结果的可靠性。支持原位充放电、原位加热，力循环表征。

原位电性能探针

来自 Imina Technologies 的集成原位电性能探测系统。该系统由 3 个 Imina Technologies miBot™ 探针组成，能够自由移动并连接到显微镜外部的电控单元。电性能探测、数据收集和结果导出都可以通过 Imina Technologies Precisio™ 软件进行管理。

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