Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪,专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发,支持秒级间隔的数据采集,精准测量 0.5 um 以上颗粒。结合直观易用的软件系统,帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级,为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。
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