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晶圆表面颗粒物快速检测系统 PDS
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晶圆表面颗粒物快速检测系统 PDS
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Product Introduction
晶圆表面颗粒物快速检测系统（PDS）
产品概况
产品概况

Fastmicro 晶圆表面颗粒物快速检测系统，专为各行业产品表面颗粒污染物直接测量而设计，主要应用于半导体领域的晶圆、薄膜及光罩检测，也可用于显示市场等基板检测。该系统配备 4-12 英寸视场（FOV）扫描区域，支持上下表面检测。其独特光学设计使产品在计量过程中无需移动即可完成检测。该系统可根据不同生产工艺需求进行定制，或直接集成至产线。

产品特点
  • 高通量检测：每小时可检测 400 片晶圆
  • 最小检测颗粒：100 nm
  • 尺寸：支持 4/6/8/12 英寸晶圆
  • 位置精度：重复定位精度 15 um
  • 检测：同时检测正反两面，无需翻面
晶圆表面颗粒物快速检测系统 PDS
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