Phenom XL G2 大样品室版台式扫描电镜

XL 大样品室卓越版

光学放大

3-19x
电子光学放大

20万倍
分辨率优于

8nm

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荷兰飞纳电镜

离子研磨抛光仪台式纳米CT 原位透射样品杆 PALD粉末包覆纳米颗粒制备和沉积

CeB6 灯丝扫描电镜

ParticleX 全自动洁净度分析系统场发射扫描电镜自动化专用扫描电镜

XL 大样品室卓越版

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简介
技术参数
特点
SEM图片
拓展硬件
用户案例
应用案例

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Product Introduction

产品简介

全新的易于学习的界面可帮助您快速掌握最新信息，是各种应用的理想选择。Phenom XL G2 大样品室版台式扫描电镜升级为全面屏成像，平均成像时间仅为 40 秒，比市场上其他台式电镜的速度快 5 倍之多。系统可对最大 100 x 100mm 的样品进行分析，8nm 的分辨率为分析提供更多的细节。专利设计的放气 / 样品装载系统可以实现全世界相对较快的放气 / 装载速度，并获得非常少有的比较高的样品吞吐效率。

Phenom XL G2

Specification

技术参数

产品型号	Phenom XL G2	Phenom ProX G6	Phenom Pro
产品图片
产品全称	XL 大样品室卓越版	ProX 电镜能谱一体机	Pro 高分辨率专业版
光学放大	3 - 19 X	27 - 160 X	27 - 160 X
电子光学放大	200,000 X	350,000 X	350,000 X
分辨率	优于 8 nm	优于 6 nm	优于 6 nm
电子枪	优于 1500 小时 CeB6	优于 1500 小时 CeB6 灯丝	优于 1500 小时 CeB6 灯丝
光学导航相机	彩色	彩色	彩色
加速电压	4.8kV - 20.5kV 连续可调	4.8 KV - 20.5 KV 连续可调	4.8 KV - 20.5 KV 连续可调
真空模式	低 - 中 - 高三种模式	高 - 低真空	高 - 低真空
探测器	背散射探测器二次电子探测器（选配）能谱探测器（选配）	背散射探测器二次电子探测器（选配）能谱探测器	背散射探测器二次电子探测器（选配）
手册下载	产品手册	产品手册	产品手册

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Practical features

实用特点

CeB₆ 灯丝

Phenom（飞纳）台式扫描电镜采用逸出功为 2.5 eV 的 CeB6 灯丝，其亮度为钨灯丝的 10 倍，出射电子色差小，为您提供更高质量的图像。其使用寿命长达 1500 小时，为钨灯丝的 10 倍，可正常使用 2 - 3 年无需更换灯丝，免去了您频繁更换灯丝的麻烦，保证工作进度。

大仓室样品台

Phenom XL G2 大样品室版台式扫描电镜的标准样品杯设计紧凑，可对最大 100 x 100mm 的样品进行分析，也可以同时容纳 36 个样品。专利的样品加载技术可以使抽真空的时间降到最短，使得 Phenom XL G2 的吞吐量比同类型的台式扫描电镜高出几个级别。

完全防震

Phenom（飞纳）台式设计，对周围环境没有特殊要求，可放置在高层的办公室、厂房等地的普通办公桌上，无需采用防震设施，是全球少有的真正意义上的完全防震电镜。

装载样品

Phenom（飞纳）的样品装载方式源自咖啡机的设计理念，采用专利的样品杯装载样品，简单快捷，无须特殊的工具和调整，装入样品杯，关上舱门，很快即可看到光学全景图。

无需镀金

Phenom（飞纳）采用低真空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的电子中和，有效抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品。利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高 8 倍左右，而且不会影响灯丝寿命。

全自动马达

Phenom（飞纳）配备全自动计算机操控马达样品台。通过鼠标点击屏幕任何一点即可轻松切换，即时移动到选中的位置。

Video Introduction

视频解说

了解更多

走近飞纳电镜之【专利防震篇】
走近飞纳电镜之【便捷的参数设置】
走近飞纳电镜之【操作简单、快速拍照】
走近飞纳飞纳电镜之【彩色光学导航】
走近飞纳电镜之【样品防碰撞装置】
走近飞纳电镜之【电镜、能谱一体化设计】

SEM image

SEM图片

电子半导体-键合线

考古-古生物化石

太阳能电池-单晶硅绒面SiNX减反射膜（约100nm）

医疗器械-支架

种植牙（1000mm x 400mm）全景拼图

电子半导体-键合线

考古-古生物化石

太阳能电池-单晶硅绒面SiNX减反射膜（约100nm）

医疗器械-支架

种植牙（1000mm x 400mm）全景拼图

Accessoire

拓展硬件

原位拉伸台

Phenom XL 拉伸台可以对各种材料进行至多 100kg (1kN) 的拉伸测试。最大载荷取决于加载单元。加载单元分两种：150N 和 1000N；根据样品类型和测试需要，选择不同的模块。应用场景多种多样。150N 模块适用于观察纤维团簇，聚合物薄膜，金属薄膜，动植物样品。1000N 模块则适用于更强韧的材料。150N 版本受力范围为 1.5N 至 150N，1000N 的则是 10N 至 1000N。

优中心样品杯

飞纳电镜大样品室卓越版 Phenom XL 的优中心样品杯采用了独一无二的设计，它包含了一个可以实现优中心倾斜和优中心旋转的子样品台。因为该样品台可以完全整合到一个常规的飞纳电镜大样品室卓越版 Phenom XL 样品杯中，从而可以在 1 分钟内实现装卸样品。而且，它也不需要繁琐、昂贵的升级。样品台的性能同样十分优越：样品可以倾斜到 90° 角，之后仍然能够进行平移。优中心样品杯本身就具有 4 个马达轴，再结合主样品台的两个马达轴，用户可以轻松实现样品的升降，倾斜，旋转和平移。

真空转移多功能样品杯

可以有效解决敏感样品的转移问题，实现密封运输样品，直接从手套箱气氛下转移至扫描电镜腔室中，避免因氧气或水分的氧化而导致样品被氧化，确保分析结果的可靠性。支持原位充放电、原位加热，力循环表征。

原位电性能探针

来自 Imina Technologies 的集成原位电性能探测系统。该系统由 3 个 Imina Technologies miBot™ 探针组成，能够自由移动并连接到显微镜外部的电控单元。电性能探测、数据收集和结果导出都可以通过 Imina Technologies Precisio™ 软件进行管理。

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