网络研讨会｜AFM-SEM 联用技术在电子半导体失效分析中的应用
2025-05-15
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半导体组件变得越来越小、更快、更复杂。随着创新不断突破界限，了解纳米尺度上发生的事情变得比以往任何时候都重要 。使用 AFM-in-SEM 联用技术，您将获得一个强大的半导体失效分析工具，包括精确的掺杂浓度映射和电学特性分析——所有这些都直接在您现有的 FIB/SEM 环境中进行。
关键词：扫描电镜，失效分析
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